稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM；
2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；

源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；

流量精度：≤1%FS；

流量重復(fù)：≤±0.15%FS；

線    性：≤±0.5%FS；

響應(yīng)時間：<1分鐘；

操作：按鍵，鍵盤，串口，USB，以太網(wǎng)；

校準(zhǔn)定義：20個工廠配置流路，每個流路可zui大20個線性點(diǎn)；

校準(zhǔn)類型：稀釋氣，臭氧，GPT；

儀器特點(diǎn)：

操作簡單，方便；

溫度顯示穩(wěn)定,可靠；

壓力可調(diào),面板帶壓力表；

可方便地放入滲透管。

性能參數(shù)

溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng)；

溫度傳感器：RTD;

前面板安裝：調(diào)壓器，壓力表，溫控器，稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm，長度12.7cm，

   溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃，

性能參數(shù)

溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng)；

溫度傳感器：RTD;

前面板安裝：調(diào)壓器，壓力表，溫控器，稀釋爐入口

特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm，長度12.7cm，

   溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃，